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國內(nèi)MEMS加工工藝的差距分析
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http://shiquanmuye.com 發(fā)稿日期:2009-7-14
- 【搜索關(guān)鍵詞】：MEMS產(chǎn)業(yè) 研究報告 投資策略 分析預測 市場調(diào)研 發(fā)展前景 決策咨詢 競爭趨勢
- 中研網(wǎng)訊：
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近日，記者連線上海傳感器協(xié)會秘書長顏重光。作為中國最早做傳感器的專家之一，其表示如今國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距。
2009-2012年中國鑄造機械產(chǎn)業(yè)運行態(tài)勢及投資前景 【出版日期】 2009年7月 【報告頁碼】 350頁 【圖表數(shù)量】 150個 【印2009-2012年中國照相機產(chǎn)業(yè)市場調(diào)研及投資前景預 【出版日期】 2009年7月 【報告頁碼】 350頁 【圖表數(shù)量】 150個 【印2009-2012年中國印刷機械產(chǎn)業(yè)市場走勢及投資前景 【出版日期】 2009年7月 【報告頁碼】 350頁 【圖表數(shù)量】 150個 【印2009-2012年中國壓路機行業(yè)格局及投資前景展望分 【出版日期】 2009年7月 【報告頁碼】 350頁 【圖表數(shù)量】 150個 【印顏重光指出，MEMS與機械類傳感器相比，精度相對差一些，主要是由于半導體自身的溫度特性有關(guān)，但如果與單片機配合進行漂移補償，可以相應的增加精度。并且由于MEMS產(chǎn)品可以大批量生產(chǎn)，成本比較低因此非常適合消費類產(chǎn)品的應用。
但其同時談到，盡管伴隨著MEMS應用增加出貨量成倍增長，量產(chǎn)起來仍然困難。主要原因是MEMS的加工方式與普通芯片不同，芯片為單面腐蝕而MEMS需要雙面腐蝕，因此需要增加相應的加工設(shè)備。
由于國內(nèi)芯片加工工藝水平的不斷上升，晶圓廠陸續(xù)上馬8寸、12寸生產(chǎn)線，此時4寸生產(chǎn)線面臨著淘汰，“與其擱置4寸生產(chǎn)線不如將其改造為MEMS生產(chǎn)線�！鳖佒毓饨ㄗh道。
在其最新的一篇文章中詳細分析了4寸生產(chǎn)線更新所需要的成本，可以看出轉(zhuǎn)產(chǎn)MEMS可以產(chǎn)生更多的利潤。不過顏重光表示，“實際上國內(nèi)進行轉(zhuǎn)產(chǎn)的企業(yè)并不多。MEMS與集成電路是截然不同的市場，很多人無法轉(zhuǎn)變觀念�！�
MEMS由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)不一樣，因此需要多樣化加工方式，包括陀螺儀里面的齒輪、壓力傳感器的薄膜或者梁結(jié)構(gòu)、加速度計中的質(zhì)量塊或者氣泡等形式。因此這就給foundry廠帶來很大困難，很難有標準化工藝。盡管目前包括中芯國際等foundry都有MEMS代工業(yè)務(wù)，但也只限于針對生產(chǎn)線準備有MEMS制造工藝清單。因此，目前企業(yè)仍然自己開發(fā)工藝后交給foundry進行生產(chǎn)。
此外，顏重光還建議MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續(xù)加強。
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