微系統(tǒng)技術(shù)簡(jiǎn)稱(chēng)MST，它的基本工藝技術(shù)是硅的腐蝕和鍵合。MST的前景是壯觀(guān)的，其工藝是從集成電路加工派生出的批量加工技術(shù)。預(yù)期，MST將會(huì)同集成電路一樣，通過(guò)新的而且便宜的產(chǎn)品來(lái)改變?nèi)藗兊纳睢?/p>
微系統(tǒng)技術(shù)簡(jiǎn)稱(chēng)MST，它的基本工藝技術(shù)是硅的腐蝕和鍵合。MST的前景是壯觀(guān)的，其工藝是從集成電路加工派生出的批量加工技術(shù)。預(yù)期，MST將會(huì)同集成電路一樣，通過(guò)新的而且便宜的產(chǎn)品來(lái)改變?nèi)藗兊纳睢ST的潛在應(yīng)用包括汽車(chē)?yán)锏膲毫鞲衅骱图铀俣扔?jì)，也包括流量傳感器、溫度傳感器、力傳感器、位置傳感器、磁場(chǎng)傳感器、化學(xué)傳感器、光傳感器、紅外輻射產(chǎn)傳感器等，MST不但便宜，而且具有獨(dú)特的性能。
在微系統(tǒng)技術(shù)微系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展歷史上，集成電路(IC)是技術(shù)的起點(diǎn)。電子器件小型化和多功能信成是微加工技術(shù)的推動(dòng)力。如果沒(méi)有微加工和小型化技術(shù)的迅猛發(fā)展，許多今天看來(lái)理所當(dāng)然的科學(xué)和工程成就都不可能實(shí)現(xiàn)。
微系統(tǒng)技術(shù)是由集成電路技術(shù)發(fā)展而來(lái)的，經(jīng)過(guò)了大約20年的萌芽階段，即由20世紀(jì)60年代中期到20世紀(jì)80年代。在這段萌芽時(shí)期，主要是開(kāi)展一些微系統(tǒng)技術(shù)的零散研究。例如，開(kāi)發(fā)了硅各向異性腐蝕技術(shù)用于在平面硅襯底上加工三維結(jié)構(gòu);一些研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)實(shí)驗(yàn)室里的研究者開(kāi)始利用集成電路的加工技術(shù)制造微系統(tǒng)技術(shù)器件，例如懸臂梁、薄膜和噴嘴;微傳感器的關(guān)鍵部件，如單晶硅和多晶硅中的壓阻被發(fā)現(xiàn)、研究和優(yōu)化。
在微系統(tǒng)技術(shù)的研發(fā)時(shí)期，涌現(xiàn)出了一些具有重要意義的研究成果。1967年，Westinghouse公司發(fā)明了一種諧振柵晶體管(RGT)。它與傳統(tǒng)的晶體管不同，RGT的電柵極不是固定在柵氧化層上，而是相對(duì)硅襯底可動(dòng)。由靜電力控制柵電極和襯底之間的間距。RGT是靜電微執(zhí)行器的最早實(shí)例。
微系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模
微系統(tǒng)產(chǎn)品憑其優(yōu)質(zhì)的性能，廣泛應(yīng)用于智慧醫(yī)療、航空、消費(fèi)電子、智慧物流等領(lǐng)域，行業(yè)的技術(shù)水平發(fā)展較好，產(chǎn)品附加值較高，凈利率較高。2019年上半年，微系統(tǒng)產(chǎn)品的凈利率約為10.24%，在大多數(shù)行業(yè)中處于中上水平。2019年上半年，中國(guó)微系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模約為267.5億元。
2015-2019年微系統(tǒng)行業(yè)償債能力分析
圖表：2015-2019年上半年中國(guó)微系統(tǒng)行業(yè)速動(dòng)比率情況
數(shù)據(jù)來(lái)源：中研普華產(chǎn)業(yè)研究院
微系統(tǒng)行業(yè)對(duì)于投入資金的要求較高，所以行業(yè)的整體負(fù)債情況偏高，同時(shí)行業(yè)對(duì)于現(xiàn)金的吸納能力較強(qiáng)，貨幣資金較高。2019年上半年，中國(guó)微系統(tǒng)行業(yè)的速動(dòng)比率約為1.51，行業(yè)償債能力較高。
2020-2025年天津微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及投資發(fā)展可行性分析報(bào)告
微系統(tǒng)是以微納尺度理論為支撐，以微納制造及工藝等為基礎(chǔ)，不斷融入微機(jī)械、微電子、微光學(xué)、微能源、微流動(dòng)等各種技術(shù)，具有微感知、微處理、微控制、微傳輸、微對(duì)抗等功能，并通過(guò)功能模塊的...
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