我國光刻機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀 我國光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展前景

• 2022年4月1日 ZhouWei來源：互聯(lián)網(wǎng) 641 37
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佳能正在開發(fā)用于半導(dǎo)體3D技術(shù)的光刻機(jī)。在尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域，3D技術(shù)可以通過堆疊多個芯片來提高半導(dǎo)體的性能。佳能新的光刻機(jī)產(chǎn)品最早將于2023年上半年上市。曝光面積擴(kuò)大至現(xiàn)有產(chǎn)品的約4倍，可支持AI使用的大型半導(dǎo)體的生產(chǎn)。

佳能將于2023年上半年發(fā)售3D半導(dǎo)體光刻機(jī)

佳能正在開發(fā)用于半導(dǎo)體3D技術(shù)的光刻機(jī)。在尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域，3D技術(shù)可以通過堆疊多個芯片來提高半導(dǎo)體的性能。佳能新的光刻機(jī)產(chǎn)品最早將于2023年上半年上市。曝光面積擴(kuò)大至現(xiàn)有產(chǎn)品的約4倍，可支持AI使用的大型半導(dǎo)體的生產(chǎn)。

我國光刻機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀

芯片前道工藝七大設(shè)備包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、鍍膜設(shè)備、量測設(shè)備、清洗機(jī)、離子注入機(jī)以及其他設(shè)備，光機(jī)機(jī)主要作用為將掩膜版上的芯片電路轉(zhuǎn)移到硅片，是IC制造最為核心環(huán)節(jié)。光刻機(jī)分為三類:一是主要用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī);二是用于封裝的光刻機(jī);三是用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。其中用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)涉及眾多世界先進(jìn)技術(shù),中國光刻機(jī)與國外頂尖光刻機(jī)存在的差距比較明顯。

光刻機(jī)是光刻工藝的核心設(shè)備，也是所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)含量最高的設(shè)備，包含上萬個零部件，集合了數(shù)學(xué)、光學(xué)、流體力學(xué)、高分子物理與化學(xué)、表面物理與化學(xué)、精密儀器、機(jī)械、自動化、軟件、圖像識別領(lǐng)域等多項(xiàng)頂尖技術(shù)。作為整個芯片工業(yè)制造中必不可少的精密設(shè)備——光刻機(jī)，其光刻的工藝水平直接決定芯片的制程和性能水平，因此光刻機(jī)更是被譽(yù)為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠。

據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院出版的《2021-2025年光刻機(jī)行業(yè)市場深度分析及發(fā)展規(guī)劃咨詢綜合研究報告》統(tǒng)計分析顯示：

光刻機(jī)行業(yè)市場規(guī)模的增量主要來自EUV，全球銷量占比27%的EUV與ArF immersion占光刻機(jī)市場銷售額的82%。

根據(jù)《上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究報告》，2019年我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率約為18.8%。該數(shù)據(jù)包括集成電路、LED、面板、光伏等設(shè)備，預(yù)計國內(nèi)集成電路設(shè)備國產(chǎn)化率僅為8%左右。細(xì)分而言，目前我國企業(yè)在去膠設(shè)備、清洗設(shè)備、刻蝕設(shè)備、熱處理設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備、CMP設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備均有突破，部分產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代。然而對于光刻設(shè)備我國仍處于被掐住喉嚨的狀況，國產(chǎn)化率仍不到百分之一，市場高度依賴進(jìn)口，且2016-2020年國產(chǎn)化進(jìn)程整體較慢。

技術(shù)卡脖子是目前我國難以研發(fā)自主光刻機(jī)的主要問題，而全球最大光刻機(jī)龍頭EUV成為了美國的政治棋子，對我國實(shí)現(xiàn)制裁，不會對中國出口光刻機(jī)。

我國光刻機(jī)發(fā)展前景

我國投資將上萬億，下決心打造光刻機(jī)，2025年將實(shí)現(xiàn)芯片70%自給。近年來由于智能手機(jī)、智能電視以及一些其它智能設(shè)備的蓬勃發(fā)展，中國芯片的需求量非常巨大。截至2018年，我國集成電路進(jìn)口額超過3000億美元，這個數(shù)值意味著什么呢?全世界的集成電路銷售規(guī)模才3510，而中國就直接占了9成。

2015年我國集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金向紫光集團(tuán)投資了100億元，2020年紫光展銳推出 了2款芯片，分別為虎賁T117，春藤V51，據(jù)悉這2款芯片將搭載海信最新機(jī)型上，此外紫光公司在內(nèi)存和存儲芯片也取得了很大的突破，并且在閃存方面打破了外國的壟斷，據(jù)該公司負(fù)責(zé)人透露，紫光公司將在2020年進(jìn)入128層堆棧，到那個時候我國閃存芯片技術(shù)將達(dá)到國際一流水準(zhǔn)，屆時閃存芯片的價格也會降下來。 在2月27日，紫光展銳正式發(fā)布了虎賁T7520。這是紫光展銳旗下第二代5G智能手機(jī)平臺方案，而更加讓中國人覺得自豪的是，虎賁T7520是目前世界上第一款基于6nm制程工藝、面向市場發(fā)售的5G芯片解決方案。

從政策環(huán)境上來看，我國對于光刻機(jī)行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在對于整個IC產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)的政策優(yōu)待以及對于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的相關(guān)規(guī)劃與推動。其主要表現(xiàn)在資金方面的補(bǔ)助和人才方面的培養(yǎng)，以及進(jìn)出口，投融資方面的政策扶持。

在各項(xiàng)政策中較為突出的是《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項(xiàng)目(02專項(xiàng))，其以專項(xiàng)的形式組織了一批國內(nèi)光刻機(jī)企業(yè)進(jìn)行了一系列重點(diǎn)工藝和技術(shù)的攻關(guān)，有效促進(jìn)了我國光刻機(jī)行業(yè)的發(fā)展。

欲了解更多行業(yè)具體詳情，可以點(diǎn)擊查看中研普華研究報告《2021-2025年光刻機(jī)行業(yè)市場深度分析及發(fā)展規(guī)劃咨詢綜合研究報告》。

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  2021-2025年光刻機(jī)行業(yè)市場深度分析及發(fā)展規(guī)劃咨詢綜合研究報告

  中研普華通過對光刻機(jī)行業(yè)長期跟蹤監(jiān)測，分析光刻機(jī)行業(yè)需求、供給、經(jīng)營特性、獲取能力、產(chǎn)業(yè)鏈和價值鏈等多方面的內(nèi)容，整合行業(yè)、市場、企業(yè)、用戶等多層面數(shù)據(jù)和信息資源，為客戶提供深度的...

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