2020電子特種氣體行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及前景分析

• 2020年9月4日 WuYaNan來源：中研網(wǎng) 720 43
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電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)，VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。

半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)，VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。

2020電子特種氣體行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及前景分析

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。

隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品成品率和缺陷控制越來越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來的最低檢測(cè)極限(LDL)相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)(CNC)可達(dá)到0.01微米。

電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。電子特種氣體的發(fā)展直接帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

近幾年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。目前我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場(chǎng)。

電子特種氣體行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)如何?

因?yàn)殡娮庸I(yè)投資規(guī)模越來越大，縮短建設(shè)周期，降低建設(shè)成本也越來越重要。對(duì)電子氣體輸送系統(tǒng)而言，如何在不降低系統(tǒng)污染控制水平和不犧牲安全配置的前提下，努力減少建設(shè)和運(yùn)行成本，同樣是一個(gè)挑戰(zhàn)。

電子特種氣體的研究開發(fā)和生產(chǎn)的專業(yè)化，有利于技術(shù)的改進(jìn)和提高，有利于成本的降低，是提高電子元器件質(zhì)量的重要環(huán)節(jié)。實(shí)現(xiàn)真正意義上的規(guī)模化生產(chǎn)，增加國內(nèi)和國際市場(chǎng)份額，為國家進(jìn)行產(chǎn)業(yè)調(diào)整結(jié)構(gòu)，建立完整的集成電路、光電子產(chǎn)業(yè)鏈，提高國際競(jìng)爭(zhēng)力，具有重大意義。

電子特種氣體行業(yè)報(bào)告依據(jù)全國及海外多種相關(guān)報(bào)紙雜志的基礎(chǔ)信息等公布和提供的大量資料和數(shù)據(jù)，客觀、多角度地對(duì)市場(chǎng)進(jìn)行了分析研究。報(bào)告在總結(jié)中國電子特種氣體行業(yè)發(fā)展歷程的基礎(chǔ)上，結(jié)合新時(shí)期的各方面因素，對(duì)行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)給予了細(xì)致和審慎的預(yù)測(cè)論證。未來電子特種氣體行業(yè)將如何發(fā)展?請(qǐng)關(guān)注中研普華研究院報(bào)告《2020-2025年中國電子特種氣體行業(yè)市場(chǎng)調(diào)查研究與發(fā)展戰(zhàn)略咨詢預(yù)測(cè)報(bào)告》。

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