微系統(tǒng),又稱(chēng)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機(jī)電和微光電技術(shù),通過(guò)系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法,將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接口等構(gòu)成一體化軟、硬件多功能集成,采用微納制造及微集成工藝實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的微納尺度化。它被公認(rèn)為21世紀(jì)的革命性技術(shù)之一。
微系統(tǒng)具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等優(yōu)點(diǎn)。微系統(tǒng)技術(shù)上的新材料、新方法、新工藝等技術(shù)變革必將對(duì)軍民兩用的系統(tǒng)研發(fā)和制造帶來(lái)顛覆性影響。
近年來(lái),微系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)發(fā)展迅速,微系統(tǒng)集成方法與工藝有了新的突破,微電子器件特征尺寸繼續(xù)減小,微處理器、微射頻器等性能進(jìn)一步提升,碳化硅與氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料器件日益成熟并進(jìn)入應(yīng)用階段,為微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展提供了有效支撐。
微傳感器是傳感技術(shù)微型化的基礎(chǔ),是微系統(tǒng)的重要基礎(chǔ)技術(shù)。近年來(lái),微傳感器性能不斷提升,可感知對(duì)象不斷豐富,在生物醫(yī)學(xué)及消費(fèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用,對(duì)各種傳感裝備的微型化發(fā)展起著巨大的推動(dòng)作用。
微系統(tǒng)產(chǎn)品憑其優(yōu)質(zhì)的性能,廣泛應(yīng)用于智慧醫(yī)療、航空、消費(fèi)電子、智慧物流等領(lǐng)域,行業(yè)的技術(shù)水平發(fā)展較好,產(chǎn)品附加值較高,凈利率較高。2019年上半年,微系統(tǒng)產(chǎn)品的凈利率約為10.24%,在大多數(shù)行業(yè)中處于中上水平。2019年上半年,中國(guó)微系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模約為267.5億元。
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2020-2025年微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)深度調(diào)研及發(fā)展現(xiàn)狀趨勢(shì)預(yù)測(cè)報(bào)告
微系統(tǒng),又稱(chēng)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機(jī)電和微光電技術(shù),通過(guò)系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法,將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接...
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