中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

• 陳澤芳 2023年5月18日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 1288 84
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2022年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額相較于2021年的1026億美元增長(zhǎng)5%，創(chuàng)下1076億美元的歷史新高。從設(shè)備類型的角度來看，2022年，晶圓加工設(shè)備的全球銷售額增長(zhǎng)了8%，而其他前端領(lǐng)域的銷售額增長(zhǎng)了11%。在2021強(qiáng)勁增長(zhǎng)后，封裝設(shè)備銷售額2022年下降了19%，測(cè)試設(shè)備總

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性支撐產(chǎn)業(yè)備受重視。近幾年，歐盟、美、日、韓等主要國(guó)家和地區(qū)相繼提出振興本土半導(dǎo)體業(yè)法案，試圖取得市場(chǎng)和技術(shù)的話語(yǔ)權(quán)。中國(guó)也積極出臺(tái)各項(xiàng)措施，對(duì)產(chǎn)業(yè)的扶持態(tài)度十分堅(jiān)定，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的景氣度持續(xù)走高。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。

如今，各國(guó)都在發(fā)展信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，這主要是因?yàn)樾畔⒓夹g(shù)的發(fā)展對(duì)于國(guó)家來說是至關(guān)重要的，而半導(dǎo)體則是當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心。半導(dǎo)體是資金密集型的行業(yè)，企業(yè)的發(fā)展需要不斷投入資金研發(fā)。但半導(dǎo)體項(xiàng)目投資的周期較長(zhǎng)，半導(dǎo)體企業(yè)融資困難，難以募集到必要的資金。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景戰(zhàn)略及投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)分析報(bào)告》顯示：

我國(guó)發(fā)展第三代半導(dǎo)體也被寫入 " 十四五 " 規(guī)劃。規(guī)劃要求，要加強(qiáng)原創(chuàng)性引領(lǐng)性科技攻關(guān)。其中，在集成電路層面，包括集成電路設(shè)計(jì)工具、重點(diǎn)裝備和高純靶材等關(guān)鍵材料研發(fā)，集成電路先進(jìn)工藝和絕緣柵雙極型晶體管 ( IGBT ) 、微機(jī)電系統(tǒng) ( MEMS ) 等特色工藝突破，先進(jìn)存儲(chǔ)技術(shù)升級(jí)，碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體發(fā)展。

2022年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額相較于2021年的1026億美元增長(zhǎng)5%，創(chuàng)下1076億美元的歷史新高。從設(shè)備類型的角度來看，2022年，晶圓加工設(shè)備的全球銷售額增長(zhǎng)了8%，而其他前端領(lǐng)域的銷售額增長(zhǎng)了11%。在2021強(qiáng)勁增長(zhǎng)后，封裝設(shè)備銷售額2022年下降了19%，測(cè)試設(shè)備總銷售額同比下降了4%。

隨著中美貿(mào)易摩擦的加速，半導(dǎo)體全供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。在需求拉動(dòng)和國(guó)產(chǎn)替代浪潮的推動(dòng)下，伴隨著國(guó)家鼓勵(lì)類產(chǎn)業(yè)政策和產(chǎn)業(yè)投資基金不斷的落實(shí)與實(shí)施，如加大資金支持、出臺(tái)稅收優(yōu)惠政策、加強(qiáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等，這些都有助于半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的持續(xù)發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)迎來巨大的發(fā)展契機(jī)。我國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)已經(jīng)初步具備了一定的市場(chǎng)規(guī)模、技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)鏈完整度，未來有望在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中發(fā)揮更加重要的作用。

當(dāng)前，隨著全球集成電路半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)加劇，產(chǎn)業(yè)自主可控國(guó)產(chǎn)替代隨之加速，打造自主可控全產(chǎn)業(yè)鏈再次成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的催化劑。對(duì)此，市場(chǎng)人士紛紛表示，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控是長(zhǎng)期主線，設(shè)備及零部件國(guó)產(chǎn)替代將迎來加速期。

半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體制造過程中不可避免會(huì)產(chǎn)生一些顆粒、有機(jī)物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物，清洗機(jī)是指對(duì)晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗以去除雜質(zhì)，獲得所需潔凈表面，為下一步工藝準(zhǔn)備良好條件的工藝設(shè)備。清洗機(jī)廣泛運(yùn)用于集成電路制造中的成膜前/成膜后清洗、等離子刻蝕后清洗、離子注入后清洗、化學(xué)機(jī)械拋光后清洗和金屬沉積后清洗等各個(gè)環(huán)節(jié)，清洗技術(shù)是影響芯片良率的重要因素之一。目前主流的濕法清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等，其中單片清洗設(shè)備市場(chǎng)份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設(shè)備存在先進(jìn)程度的區(qū)分，主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標(biāo)準(zhǔn)。

全球前五大廠分別是應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林科技和科天半導(dǎo)體，來自美國(guó)、日本和荷蘭。憑借完整的產(chǎn)業(yè)鏈和豐富的技術(shù)專利積累，美日歐等發(fā)達(dá)國(guó)家在半導(dǎo)體領(lǐng)域長(zhǎng)期保持了全面領(lǐng)先。半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)集中度非常高，海外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要被日本 DNS(迪恩士)、東京電子、泛林科技和 SEMES(韓國(guó)細(xì)美事)等企業(yè)主導(dǎo)，上述企業(yè)清洗設(shè)備合計(jì)占比超過全球市場(chǎng) 90%，產(chǎn)業(yè)集中度較高。

得益于產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移與國(guó)家政策支持，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)全方位成長(zhǎng)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商通過自主研發(fā)，在半導(dǎo)體刻蝕、沉積、清洗等方面實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化替代，并進(jìn)入量產(chǎn)階段。隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)核心技術(shù)和工藝能力的提升，以及在客戶認(rèn)證方面的不斷進(jìn)展，未來刻蝕、清洗設(shè)備有望成為顯著受益國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求發(fā)展的賽道，成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)國(guó)產(chǎn)替代的先鋒。中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額前五大廠商為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、新益昌，清洗設(shè)備廠商主要有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提?？萍嫉?，產(chǎn)業(yè)集中度較高。中國(guó)大陸從事半導(dǎo)體清洗設(shè)備的企業(yè)有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提牛科技。

本報(bào)告由中研普華咨詢公司領(lǐng)銜撰寫，在大量周密的市場(chǎng)調(diào)研基礎(chǔ)上，主要依據(jù)了國(guó)家統(tǒng)計(jì)局、國(guó)家商務(wù)部、國(guó)家發(fā)改委、國(guó)家經(jīng)濟(jì)信息中心、國(guó)務(wù)院發(fā)展研究中心、國(guó)家海關(guān)總署、全國(guó)商業(yè)信息中心、中國(guó)經(jīng)濟(jì)景氣監(jiān)測(cè)中心、中國(guó)行業(yè)研究網(wǎng)、全國(guó)及海外多種相關(guān)報(bào)刊雜志的基礎(chǔ)信息以及專業(yè)研究單位等公布和提供的大量資料。了解更多行業(yè)數(shù)據(jù)詳情，可以點(diǎn)擊查閱中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2023-2028年中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展前景戰(zhàn)略及投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)分析報(bào)告》。

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  半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體行業(yè)研...

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