物理氣相沉積(Physical Vapour Deposition,PVD)技術表示在真空條件下,采用物理方法,將材料源——固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。
一、PVD行業(yè)概述
物理氣相沉積(Physical Vapour Deposition,PVD)技術表示在真空條件下,采用物理方法,將材料源——固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。 物理氣相沉積的主要方法有,真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜,及分子束外延等。發(fā)展到目前,物理氣相沉積技術不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導體、聚合物膜等。
PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術主要分為三類:真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。物理氣相沉積的主要方法有:真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍膜、離子鍍膜和分子束外延等。相應的真空鍍膜設備包括真空蒸發(fā)鍍膜機、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機。隨著沉積方法和技術的提升,物理氣相沉積技術不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導體、聚合物膜等。
PVD技術出現(xiàn)于,制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學穩(wěn)定性等優(yōu)點。最初在高速鋼刀具領域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視,人們在開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時,也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進行了更加深入的涂層應用研究。
物理氣相沉積技術早在20世紀初已有些應用,但30年迅速發(fā)展成為一門極具廣闊應用前景的新技術,并向著環(huán)保型、清潔型趨勢發(fā)展。在鐘表行業(yè),尤其是高檔手表金屬外觀件的表面處理方面達到越來越為廣泛的應用。
物理氣相沉積技術基本原理可分三個工藝步驟:(1)鍍料的氣化:即使鍍料蒸發(fā),升華或被濺射,也就是通過鍍料的氣化源。(2)鍍料原子、分子或離子的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過碰撞后,產(chǎn)生多種反應。(3)鍍料原子、分子或離子在基體上沉積。
PVD行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游包括PVD設備、鍍膜材料等,下游包括集成電路、機械零件、五金模具等。數(shù)據(jù)顯示,2014-2021年,全球PVD鍍膜服務市場規(guī)模由16.24億美元迅速增長至42.11億美元,期間年均復合增長率達14.6%。
從上游PVD鍍膜材料來看,近年來我國PVD鍍膜材料市場規(guī)模日益壯大,至2021年突破100億元,增長至103.6億元,同比增長9.2%。我國PVD應用廣泛,目前,光伏、集成電路、磁性材料領域是最大的需求市場,2021年的應用占比分別為27.36%、23.21%、18.21%。隨著沉積方法和技術的提升,物理氣相沉積技術不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導體、聚合物膜等。全球PVD鍍膜服務產(chǎn)值規(guī)模不斷增長,2021年全球PVD鍍膜服務產(chǎn)值規(guī)模達到43.27億美元,同比上升6.97%。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2020-2025年中國PVD行業(yè)市場發(fā)展前景預測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃研究報告》顯示:
數(shù)據(jù)顯示,2017至2020年,全球半導體薄膜沉積設備市場規(guī)模從125億美元增長至172億美元,預計到2025年將達340億美元左右。亞太地區(qū)擁有最大的PVD鍍膜服務市場,在2021年全球PVD鍍膜服務市場中的份額達48.79%。北美為第二大市場,占比20.84%;歐洲緊隨其后,PVD鍍膜服務規(guī)模占全球比重的19.01%。
從國內(nèi)市場來看,2014年我國PVD鍍膜服務行業(yè)產(chǎn)值為20.18億元,隨著PVD鍍膜技術水平的不斷提升,下游需求市場穩(wěn)步發(fā)展,至2021年我國PVD鍍膜服務產(chǎn)值增長至85.97億元,2014-2021年期間CAGR為23%。
PVD進出口貿(mào)易中主要包含半導體及平板顯示器領域PVD設備兩種。海關編碼統(tǒng)計為 “84862022制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置”、“84863022制造平板顯示器用的物理氣相沉積設備(PVD)”。近年來,我國半導體及平板顯示器領域PVD設備進出口數(shù)量呈波動走勢,2021年實現(xiàn)進口量1113臺,同比增長11.97%;完成出口量512臺,同比減少47.22%。
隨著新能源汽車產(chǎn)業(yè)和動力電池行業(yè)政策力度的不斷加大,作為鋰電池的關鍵上游組件,鋰電池粘結(jié)劑產(chǎn)業(yè)快速成長趨勢明確。預計在鋰電池粘結(jié)劑行業(yè)景氣的背景下,鋰電池粘結(jié)劑的需求將不斷增長,同時在政策利好下,將會有更多企業(yè)進入鋰電池粘結(jié)劑行業(yè)。
目前國內(nèi)鋰電池專用粘結(jié)劑的品種少并且性能較差,高端鋰離子電池專用粘結(jié)劑幾乎全部依靠進口。隨著鋰離子電池粘結(jié)劑的使用量日益增加及國內(nèi)電子產(chǎn)業(yè)的快速增長,加大研發(fā)力度、本土化配套已成為重要趨勢。預計鋰電池粘結(jié)劑企業(yè)生產(chǎn)技術的不斷提高,將促進鋰電池粘結(jié)劑國產(chǎn)化進程加快。
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