電子特種氣體是電子氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的原材料。電子特氣種類(lèi)眾多,廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié),被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。
電子特種氣體是電子氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的原材料。電子特氣種類(lèi)眾多,廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié),被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。
電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展,對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2021-2026年電子特氣行業(yè)市場(chǎng)深度分析及發(fā)展策略研究報(bào)告》顯示:
電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè),下游在集成電路、面板、LED等領(lǐng)域的各個(gè)工藝環(huán)節(jié)均有多種用途。電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料,2021年,電子特氣在集成電路中的應(yīng)用占比達(dá)43%,其次為顯示面板,占比21%,LED和光伏分別占比13%,6%,主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。
集成電路是電子特氣主要下游應(yīng)用,21年占比達(dá)43%。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),政策加持下,打造“中國(guó)芯”、實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代的緊迫性、重要性不斷加強(qiáng)。2011年中國(guó)大陸晶圓產(chǎn)能僅占全球9%,2021年已達(dá)16%,預(yù)計(jì)到2024年將達(dá)19%,產(chǎn)業(yè)鏈逐步向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移。據(jù)統(tǒng)計(jì),2021-2022年全球共新增晶圓廠29座,其中中國(guó)大陸新增8座,占比達(dá)到27.59%。
技術(shù)壁壘高 國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)加速
作為集成電路、顯示面板、光伏能源等國(guó)家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)原料,進(jìn)口依賴(lài)度較高的電子特氣成為了我國(guó)發(fā)展科技、新能源道路上的“卡脖子”環(huán)節(jié)。
電子特氣技術(shù)壁壘高,認(rèn)證周期長(zhǎng),是集成電路不可或缺的基礎(chǔ)材料。電子特氣在生產(chǎn)過(guò)程中涉及多項(xiàng)工藝技術(shù),包括合成、純化、混合氣配置、充裝、分析檢測(cè)等,形成了較高的技術(shù)壁壘。
電子特氣在光伏能源、光纖光纜領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期通常為0.5-1 年,顯示面板領(lǐng)域通常為1-2 年,集成電路領(lǐng)域長(zhǎng)達(dá)2-3 年。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)材料領(lǐng)域,氣體的市場(chǎng)規(guī)模占半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)材料總體規(guī)模的14.1%,僅次于硅片排名第二。
被稱(chēng)為“芯片血液”的電子特氣,在芯片制造中的需求量?jī)H次于大硅片,融通著晶圓制造的多個(gè)環(huán)節(jié)。
離子注入、刻蝕、薄膜沉積、摻雜等工藝中都要用到特殊氣體,這些氣體超過(guò)110種,常用的有20-30種。
特別是以氦氖氪氙為主的混合氣體,是光刻環(huán)節(jié)不可或缺的材料。光刻機(jī)激光腔體注入混合氣體,才能發(fā)射出特定波長(zhǎng)和能量的激光,進(jìn)而去除芯片表層的光刻膠,在芯片表面形成納米級(jí)的電路圖。
隨著晶圓廠不斷擴(kuò)充軍備,電子特氣市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)。中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示,中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模在過(guò)去十年翻了一番,2020年達(dá)到了150億元。
預(yù)計(jì)2024年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模將提升到230億元,4年CAGR為11.28%,屆時(shí)中國(guó)將占據(jù)全球6成的市場(chǎng)。
21世紀(jì)以來(lái),全球氣體行業(yè)形成了美國(guó)空氣集團(tuán)、法國(guó)液空集團(tuán)、德國(guó)林德集團(tuán)、 日本太陽(yáng)日酸四家巨頭公司壟斷的行業(yè)格局;2018年,四家氣體巨頭占據(jù)了全球電子特氣市場(chǎng)約91%的市場(chǎng)份額。
由于我國(guó)電子特氣行業(yè)起步晚,過(guò)去國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)與國(guó)外巨頭存在較大技術(shù) 代差,2020年我國(guó)電子特氣國(guó)產(chǎn)化率僅14%。
電子特氣對(duì)物流配送要求與一站式服務(wù)需求較高:電子特氣供氣模式以零售氣體模式為主,需要供應(yīng)商在保證服務(wù)高效、及時(shí)的 同時(shí)能合理控制成本;同時(shí)客戶(hù)希望氣體企業(yè)能滿(mǎn)足其一站式的用氣需求,對(duì)綜合服務(wù)能力有較高要求。在零售氣體模式上具有本土區(qū)位優(yōu)勢(shì),在現(xiàn)場(chǎng)制氣模式上積極向氣體綜合服務(wù)拓展:在零售氣體模式上,相較于從海外運(yùn)輸氣體,國(guó)產(chǎn)企業(yè)具有明顯的本土區(qū)位優(yōu)勢(shì);在現(xiàn)場(chǎng)制氣模式上,國(guó)產(chǎn)企業(yè)逐步向氣體綜合服務(wù)模式邁進(jìn),為客戶(hù)提供整套氣體服務(wù)。
目前國(guó)內(nèi)電子特氣第一梯隊(duì)的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力,在細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢(shì),但和國(guó)外龍頭企業(yè)相比還有較大差距,國(guó)產(chǎn)替代空間巨大。
國(guó)內(nèi)電子特氣廠商經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,逐步突破了相關(guān)認(rèn)證壁壘與技術(shù)壁壘。凱美特氣于2021年相繼通過(guò)了法國(guó)液空、美國(guó)相干的稀有氣體、混配氣認(rèn)證,電子特氣業(yè)務(wù)開(kāi)始逐漸放量;華特氣體已實(shí)現(xiàn)20多種氣體產(chǎn)品的進(jìn)口替代,是國(guó)內(nèi)唯一一家通過(guò)荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON株式會(huì)社認(rèn)證的氣體公司;金宏氣體的檢測(cè)中心獲得CNAS認(rèn)證,其超純氨產(chǎn)品已經(jīng)基本實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,占據(jù)國(guó)內(nèi)大部分市場(chǎng)。
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2021-2026年電子特氣行業(yè)市場(chǎng)深度分析及發(fā)展策略研究報(bào)告
電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)。電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、...
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