電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
電子特氣的概念
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2021-2026年電子特氣行業(yè)市場深度分析及發(fā)展策略研究報告》顯示:
國內(nèi)的超高純度凈化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產(chǎn)品缺陷, 提高制程的產(chǎn)量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權的超高純度電子特氣凈化技術,解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產(chǎn)化問題。
集成電路是電子特氣主要下游應用,晶圓產(chǎn)能2021年已達16%,預計到2024年將達19%,產(chǎn)業(yè)鏈逐步向國內(nèi)轉(zhuǎn)移。據(jù)統(tǒng)計,2021-2022年全球共新增晶圓廠29座,其中中國大陸新增8座,占比達到27.59%。
數(shù)據(jù)顯示,2021年,電子特氣在集成電路中的應用占比達43%,其次為顯示面板,占比21%,LED和光伏分別占比13%,6%,主要應用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。2021年全球電子特氣市場規(guī)模達46億美元,預計未來行業(yè)將保持在5%左右的增速,市場規(guī)模在2024年達到54億美元。
在氣體純化環(huán)節(jié),國產(chǎn)企業(yè)已能夠?qū)⒉糠蛛娮犹貧鈱崿F(xiàn)9N(99.9999999%)級別的純度;在氣體混配環(huán)節(jié),國產(chǎn)企業(yè)可使配氣誤差達到±2%以內(nèi);在氣瓶處理環(huán)節(jié),國產(chǎn)企業(yè)可使粗糙度達到0.2μm以下;在氣體分析檢測環(huán)節(jié),國產(chǎn)企業(yè)對多種氣體的檢測精度可達0.1ppb。國產(chǎn)氣體企業(yè)已在部分特種氣體上擁有自主核心技術,為推進電子特氣國產(chǎn)替代打下了工藝基礎。
“十四五”期間,中國工業(yè)氣體、集成電路產(chǎn)能分布密集的東部地區(qū)基于自身區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出相應的電子特氣行業(yè)發(fā)展規(guī)劃,其中如廣東、遼寧等地基于優(yōu)勢城市、區(qū)域產(chǎn)業(yè)群加大技術投入,拓展包括電子特氣在內(nèi)的工業(yè)氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產(chǎn)能密集省份則基于區(qū)域相關產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向,有針對性地發(fā)展相應電子特氣產(chǎn)業(yè),提升集成電路產(chǎn)業(yè)化程度。
根據(jù)數(shù)據(jù)顯示,2017-2021年,中國特種氣體市場規(guī)模從175億元增至342億元,年復合增速達18%。預計到2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達到808億元,2021-2026年復合增長率為18.76%。
中國電子特氣2021年市場規(guī)模為167億元,預計2024年我國電子特氣市場規(guī)模將達到230億元,2020-2024年復合增速將達11.28%,增速高于全球。我國電子特氣市場主要由早期進入市場的國外廠商壟斷,2020年CR4達86%。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力,在細分領域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢。
國產(chǎn)企業(yè)加速擴產(chǎn)迎接需求釋放,國產(chǎn)化率有望從2020年的14.2%提升至2025年的25%。目前全球及國內(nèi)的電子特氣市場被四家海外氣體巨頭壟斷,2020年國產(chǎn)化率僅14.2%,隨著國產(chǎn)企業(yè)突破技術、客戶、服務三大壁壘,疊加俄烏沖突導致稀有氣體供應短缺的催化,電子特氣國產(chǎn)替代需求強烈。
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2021-2026年電子特氣行業(yè)市場深度分析及發(fā)展策略研究報告
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