光罩是在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖型,為將圖型復(fù)制於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時,利用底片將影像復(fù)制至相片上。
光罩行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀如何?隨著電子信息技術(shù)的日新月異,5G技術(shù)和人工智能帶動下游終端電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代速度越來越快,以平板電視、筆記本電腦、數(shù)碼相機(jī)、智能手機(jī)等產(chǎn)品為主的消費(fèi)類電子產(chǎn)品產(chǎn)銷量持續(xù)增長,為平板顯示、半導(dǎo)體芯片、觸控、電路板等電子元器件相關(guān)行業(yè)帶來巨大的市場空間,間接帶動了掩膜版行業(yè)的發(fā)展。
光罩的概念
光罩是在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖型,為將圖型復(fù)制於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時,利用底片將影像復(fù)制至相片上。
光罩業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱MASK或PHOTOMASK),材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應(yīng)用于對集成電路進(jìn)行投影定位,通過集成電路光刻機(jī)對所投影的電路進(jìn)行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序為:曝光,顯影,去感光膠,最后應(yīng)用于光蝕刻。
掩膜版主要由基板和遮光膜兩個部分組成?;宸譃闃渲搴筒AЩ?,玻璃基板主要包括石英基板和蘇打基板,根據(jù)遮光膜種類的不同,可以分為硬質(zhì)遮光膜和乳膠。光掩膜按用途分類可分為四種,分別為鉻版(chrome)、干版、液體凸版和菲林。其中,鉻版精度最高,耐用性更好,廣泛應(yīng)用于平板顯示、IC、印刷線路板和精細(xì)電子元器件行業(yè);干版、液體凸版和菲林主要用于中低精度LCD行業(yè)、PCB及IC載板等行業(yè)。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2019-2025年中國光罩行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預(yù)測報告》顯示:
近年來,全球光掩膜版市場發(fā)展態(tài)勢較好,行業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大,2019年,全球光掩膜版市場規(guī)模達(dá)到40億美元左右,受新冠肺炎疫情的影響,2020年,全球光掩膜版市場規(guī)模有所縮減。全球市場中,光掩膜版市場參與者主要集中在美國、日本、韓國等國家中,其中市場占比較高的企業(yè)有日本東曹、HOYA、韓國LGMicron、DNP、信越化學(xué)、尼康、SKE等。
我國掩膜版領(lǐng)域由于起步仍然相對較晚,在高端掩膜版產(chǎn)品的技術(shù)水平和綜合產(chǎn)能上與國際廠商仍存在一定差距。由于掩膜版行業(yè)的高進(jìn)入門檻,目前市場主要參與者為境內(nèi)外知名企業(yè),市場集中度較高,未來競爭格局將較為穩(wěn)定。
2022年12月,半導(dǎo)體掩模版領(lǐng)域?qū)>匦隆靶【奕恕逼髽I(yè)龍圖光罩完成上市前戰(zhàn)略融資,引入了華虹虹芯、士蘭控股(浙江)及景寧壹號基金、衢州瑞揚(yáng)作為新增股東。龍圖光罩本次融資相關(guān)資金將用于珠海高端半導(dǎo)體芯片掩模版制造基地的建設(shè),該制造基地占地面積約2萬平米,建成后將用于配套下游晶圓廠特色工藝及成熟制程。
光掩膜上游主要包括圖形設(shè)計、光掩膜設(shè)備及材料行業(yè),主要供應(yīng)廠商包括日本東曹,日本信越化學(xué)、日本尼康和菲利華等;中游為掩膜版制造行業(yè),主要企業(yè)包括日本HOYA,日本DNP,韓國LG-IT、日本SKE和清溢光電;下游主要包括IC制造、IC封裝、平面顯示和印制線路板等行業(yè),廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、家電、汽車等電子產(chǎn)品領(lǐng)域,主要客戶為半導(dǎo)體廠商英特爾、三星、臺積電等以及顯示屏廠商京東方、華星光電等。
根據(jù)IHS統(tǒng)計,2019年至2021 年,我國已規(guī)劃投產(chǎn)的TFT-LCD產(chǎn)線為23 條,其中高世代線為15條,占比65.22%;2019年至2023年我國已規(guī)劃投產(chǎn)的AMOLED產(chǎn)線為21條,其中LTPS線為17條,占比80.95%。我國平板顯示行業(yè)對掩膜版產(chǎn)品尤其是高世代、高精度掩膜版產(chǎn)品的需求將持續(xù)增長。據(jù)IHS統(tǒng)計測算,中國大陸平板顯示行業(yè)掩膜版需求量占全球比重,已經(jīng)從2011年的5%上升到2017年的32%。
電子信息產(chǎn)業(yè)是我國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),而掩膜版行業(yè)則是電子信息產(chǎn)業(yè)不可缺少的重要組成部分。從產(chǎn)業(yè)鏈來看,掩膜版產(chǎn)業(yè)位于電子信息產(chǎn)業(yè)的上游,其主導(dǎo)產(chǎn)品掩膜版是下游電子元器件制造商(平板顯示、半導(dǎo)體芯片、觸控和電路板等行業(yè))生產(chǎn)制造過程中的核心模具,起到橋梁和紐帶的作用,電子元器件制造商的產(chǎn)品則廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、家電、汽車等電子產(chǎn)品領(lǐng)域。因此,掩膜版行業(yè)的發(fā)展與其下游電子元器件行業(yè)乃至終端電子消費(fèi)品行業(yè)的發(fā)展密切相關(guān)。下游行業(yè)市場規(guī)模的不斷增長也為本行業(yè)提供了更為廣闊的市場空間。
光掩膜版在可穿戴設(shè)備、平板顯示、汽車電子、家電等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,近年來,隨著下游市場需求不斷釋放,光掩膜版行業(yè)發(fā)展持續(xù)向好。我國光掩膜版行業(yè)起步較晚,高端產(chǎn)品產(chǎn)能不足,因此目前我國光掩膜版市場仍由外資企業(yè)占據(jù)主導(dǎo),未來我國光掩膜版行業(yè)發(fā)展空間廣闊。
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