2023電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展分析及前景研究

• 吳亞楠 2023年9月22日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 313 13
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電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的不斷加劇，大型企業(yè)間并購整合與資本運(yùn)作日趨頻繁，國內(nèi)外優(yōu)秀的電子束曝光系統(tǒng)(EBL)企業(yè)愈來愈重視對(duì)行業(yè)市場(chǎng)的分析研究，特別是對(duì)當(dāng)前市場(chǎng)環(huán)境和客戶需求趨勢(shì)變化的深入研究，以期提前占領(lǐng)市場(chǎng)，取得先發(fā)優(yōu)勢(shì)。

電子束曝光(electron beam lithography)指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術(shù)的延伸應(yīng)用。光刻技術(shù)的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達(dá)到的精度越高。根據(jù)德布羅意的物質(zhì)波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達(dá)到納米量級(jí)，從而為制作納米線提供了很有用的工具。

電子束曝光需要的時(shí)間長是它的一個(gè)主要缺點(diǎn)。為了解決這個(gè)問題，納米壓印術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。電子束曝光系統(tǒng)(electron beam lithography system)即用于實(shí)現(xiàn)電子束曝光的系統(tǒng)。電子束曝光在半導(dǎo)體工業(yè)中被廣泛使用于研究下一代超大規(guī)模集成電路。

基于改進(jìn)掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)由于SEM的工作方式與電子束曝光機(jī)十分相近,最初的電子束曝光機(jī)是從SEM基礎(chǔ)上改裝發(fā)展起來的，近年來隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展，將SEM改裝為曝光機(jī)的工作取得了重要進(jìn)展。主要改裝工作是設(shè)計(jì)一個(gè)圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，并配備一臺(tái)PC機(jī)。PC機(jī)通過圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電器去驅(qū)動(dòng)SEM的掃描線圈，從而使電子束偏轉(zhuǎn)。

同時(shí)通過圖形發(fā)生器控制束閘的通斷，最終在工件上描繪出所要求的圖形。通常采用矢量掃描方式描繪圖形，即在掃描場(chǎng)內(nèi)以矢量方式移動(dòng)電子束，在單元圖形內(nèi)以光柵掃描填充。對(duì)SEM進(jìn)行改裝時(shí)，應(yīng)考慮SEM偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的帶寬以及工作臺(tái)移動(dòng)精度等對(duì)曝光圖形誤差和圖形畸變的影響。高檔SEM改裝系統(tǒng)的功能接近于專用電子束曝光機(jī)，但由于受到視場(chǎng)小、速度低及自動(dòng)化程度低等限制，在生產(chǎn)率上不可能與專用電子束曝光系統(tǒng)相比。

根據(jù)中研普華研究院撰寫的《2023-2028年中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)發(fā)展前景及投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)分析報(bào)告》顯示：

電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展分析及前景研究

電子束曝光按掃描方式，成形電子束曝光系統(tǒng)又可分為矢量掃描型和光柵掃描型。掃描式電子束曝光系統(tǒng)可以得到極高的分辨率，但其生產(chǎn)率較低，不能滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需要。成形束系統(tǒng)生產(chǎn)率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，難以制作納米級(jí)圖形。近年來研發(fā)的投影電子束來曝光系統(tǒng)，既能使曝光分辨率達(dá)到納米量級(jí)，又能大大提高生產(chǎn)率，且不需要鄰近效應(yīng)校正。在研制中的投影式電子束曝光系統(tǒng)主要有兩種。

電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術(shù)的延伸應(yīng)用。光刻技術(shù)的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達(dá)到的精度越高。根據(jù)德布羅意的物質(zhì)波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達(dá)到納米量級(jí)，從而為制作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時(shí)間長是它的一個(gè)主要缺點(diǎn)。為了解決這個(gè)問題，納米壓印術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。

電子束裝備主要由束流產(chǎn)生裝置、束流加速裝置、束流引出裝置、輻射場(chǎng)形成裝置、控制裝置等構(gòu)成。按照加速原理來劃分，電子束設(shè)備輻照裝置可以分為直流高壓型、高頻諧振型兩大類;按照能量來劃分，電子束設(shè)備輻照裝置可以分為低能型、中能型、高能型等。

隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設(shè)備，在這兩類設(shè)備中，電子束設(shè)備在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢(shì)。最先進(jìn)的激光制版系統(tǒng)，其束斑直徑在0.2μm左右，可以用來制作0.18μm，0.15μm生產(chǎn)線的掩模版，但對(duì)特征尺寸更小的器件的掩模，只能用電子束曝光系統(tǒng)來制作，特別是用于光學(xué)光刻中的銘版制造。

電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的不斷加劇，大型企業(yè)間并購整合與資本運(yùn)作日趨頻繁，國內(nèi)外優(yōu)秀的電子束曝光系統(tǒng)(EBL)企業(yè)愈來愈重視對(duì)行業(yè)市場(chǎng)的分析研究，特別是對(duì)當(dāng)前市場(chǎng)環(huán)境和客戶需求趨勢(shì)變化的深入研究，以期提前占領(lǐng)市場(chǎng)，取得先發(fā)優(yōu)勢(shì)。正因?yàn)槿绱耍淮笈鷥?yōu)秀品牌迅速崛起，逐漸成為行業(yè)中的翹楚。中研普華利用多種獨(dú)創(chuàng)的信息處理技術(shù)，對(duì)電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)市場(chǎng)海量的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、整理、加工、分析、傳遞，為客戶提供一攬子信息解決方案和咨詢服務(wù)，最大限度地降低客戶投資風(fēng)險(xiǎn)與經(jīng)營成本，把握投資機(jī)遇，提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。

根據(jù)曝光圖形的精度要求可以調(diào)整矩形束斑的尺寸，由于該系統(tǒng)是固定束斑，電子束曝光的數(shù)據(jù)處理比較簡(jiǎn)單:如果將第2光瀾置換成固定尺寸和形狀的鏤空掩模，即可形成定形束投影電子束光刻系統(tǒng)。

電子束曝光系市場(chǎng)格局

全球電子束曝光系(Electron Beam Lithography System，EBL)主要廠商有Raith、ADVANTEST、JEOL、Elionix、Crestec等，全球前三大廠商共占有大約70%的市場(chǎng)份額。中國是全球最大的電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)，占有大約22%的市場(chǎng)份額，之后是北美和歐洲市場(chǎng)，二者各占有大約20%的份額。

在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，企業(yè)及投資者能否做出適時(shí)有效的市場(chǎng)決策是制勝的關(guān)鍵。電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)報(bào)告對(duì)中國電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀、競(jìng)爭(zhēng)格局及市場(chǎng)供需形勢(shì)進(jìn)行了具體分析，并從行業(yè)的政策環(huán)境、經(jīng)濟(jì)環(huán)境、社會(huì)環(huán)境及技術(shù)環(huán)境等方面分析行業(yè)面臨的機(jī)遇及挑戰(zhàn)。還重點(diǎn)分析了重點(diǎn)企業(yè)的經(jīng)營現(xiàn)狀及發(fā)展格局，并對(duì)未來幾年行業(yè)的發(fā)展趨向進(jìn)行了專業(yè)的預(yù)判。

本報(bào)告同時(shí)揭示了電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)潛在需求與潛在機(jī)會(huì)，為戰(zhàn)略投資者選擇恰當(dāng)?shù)耐顿Y時(shí)機(jī)和公司領(lǐng)導(dǎo)層做戰(zhàn)略規(guī)劃提供準(zhǔn)確的市場(chǎng)情報(bào)信息及科學(xué)的決策依據(jù)，同時(shí)對(duì)政府部門也具有極大的參考價(jià)值。同時(shí)包含大量的數(shù)據(jù)、深入分析、專業(yè)方法和價(jià)值洞察，可以幫助您更好地了解行業(yè)的趨勢(shì)、風(fēng)險(xiǎn)和機(jī)遇。

想了解關(guān)于更多電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)專業(yè)分析，可點(diǎn)擊查看中研普華研究院撰寫的《2023-2028年中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)發(fā)展前景及投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)分析報(bào)告》。

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  2023-2028年中國電子束曝光系統(tǒng)（EBL）行業(yè)發(fā)展前景及投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)分析報(bào)告

  在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，企業(yè)及投資者能否做出適時(shí)有效的市場(chǎng)決策是制勝的關(guān)鍵。電子束曝光系統(tǒng)（EBL）行業(yè)研究報(bào)告就是為了解行情、分析環(huán)境提供依據(jù)，是企業(yè)了解市場(chǎng)和把握發(fā)展方向的重要手段，E...

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