刻蝕是通過移除晶圓表面材料，在晶圓上根據(jù)光刻圖案進(jìn)行微觀雕刻，將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面的工藝。近年來我國刻蝕設(shè)備行業(yè)涌現(xiàn)出了一批優(yōu)秀的領(lǐng)先企業(yè)。但我國企業(yè)在刻蝕設(shè)備制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，刻蝕設(shè)備研發(fā)進(jìn)度仍待加快。
刻蝕是通過移除晶圓表面材料，在晶圓上根據(jù)光刻圖案進(jìn)行微觀雕刻，將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面的工藝?？涛g分為濕法刻蝕和干法刻蝕，濕法刻蝕是利用化學(xué)溶液溶解晶圓表面的材料，干法刻蝕使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來刻蝕材料并形成可以從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品。
據(jù)中研產(chǎn)業(yè)研究院報(bào)告《2021-2026年中國刻蝕機(jī)市場深度全景調(diào)研及投資前景分析報(bào)告》分析
刻蝕工藝使用的半導(dǎo)體設(shè)備為刻蝕機(jī)。全球刻蝕設(shè)備行業(yè)的主要企業(yè)即泛林半導(dǎo)體，東京電子和應(yīng)用材料三家。從全球刻蝕設(shè)備市場份額來看，三家企業(yè)的合計(jì)市場份額就占到了全球刻蝕設(shè)備市場的90%以上。其中泛林半導(dǎo)體獨(dú)占52%的市場份額，東京電子與應(yīng)用材料分別占據(jù)20%和19%的市場份額。
國內(nèi)的刻蝕設(shè)備企業(yè)主要有中微公司、北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體和中電科。其中，中微公司、北方華創(chuàng)和屹唐半導(dǎo)體均以生產(chǎn)干法刻蝕設(shè)備為主，中電科除了生產(chǎn)干法刻蝕設(shè)備以外還生產(chǎn)濕法刻蝕設(shè)備。除上述企業(yè)外，國內(nèi)還有創(chuàng)世微納、芯源微和華林科納等企業(yè)生產(chǎn)刻蝕設(shè)備。
2020年全球刻蝕設(shè)備市場規(guī)模123.3億美元，預(yù)計(jì)到2024年市場規(guī)模151.8億美元，2019-2024年年均復(fù)合增長率為7%。
根據(jù)被刻蝕材料的不同，刻蝕設(shè)備可分為介質(zhì)刻蝕設(shè)備和導(dǎo)體刻蝕設(shè)備，其中導(dǎo)體刻蝕包括硅刻蝕和金屬刻蝕。數(shù)據(jù)顯示，2020年全球?qū)w刻蝕和介質(zhì)刻蝕占比分別為61%和39%。
刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為刻蝕機(jī)的四大組成部分，主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng);中游為刻蝕機(jī)的制造，刻蝕技術(shù)主要有兩種，傳統(tǒng)濕法刻蝕技術(shù)及現(xiàn)代干法刻蝕技術(shù);下游為刻蝕機(jī)的應(yīng)用，主要用來制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池及其他微機(jī)械制造。
由于光刻機(jī)在20nm以下光刻步驟受到光波長度的限制，因此無法直接進(jìn)行光刻與刻蝕步驟，而是通過多次光刻、刻蝕生產(chǎn)出符合人們要求的更微小的結(jié)構(gòu)。目前普遍采用多重模板工藝原理，即通過多次沉積、刻蝕等工藝，實(shí)現(xiàn)10nm線寬的制程。根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)，14nm制程所需使用的刻蝕步驟達(dá)到64次，較28nm提升60%;7nm制程所需刻蝕步驟更是高達(dá)140次，較14nm提升118%，工藝升級持續(xù)推動(dòng)刻蝕機(jī)用量提升。
近年來，隨著國內(nèi)晶圓廠制程工藝的進(jìn)步，多重曝光工藝逐步得到應(yīng)用，對刻蝕設(shè)備的需求潛力增大，帶動(dòng)了我國刻蝕設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。在政策的推動(dòng)和研發(fā)的進(jìn)步下，我國刻蝕設(shè)備行業(yè)涌現(xiàn)出了一批優(yōu)秀的領(lǐng)先企業(yè)。但我國企業(yè)在刻蝕設(shè)備制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，刻蝕設(shè)備研發(fā)進(jìn)度仍待加快。
想要了解更多刻蝕機(jī)行業(yè)的發(fā)展前景，請查閱《2021-2026年中國刻蝕機(jī)市場深度全景調(diào)研及投資前景分析報(bào)告》。
更多推薦報(bào)告
關(guān)注公眾號(hào)
免費(fèi)獲取更多報(bào)告節(jié)選
免費(fèi)咨詢行業(yè)專家
2022-2027年中國黑色金屬行業(yè)市場全景調(diào)研及投資價(jià)值評估研究報(bào)告
黑色金屬行業(yè)研究報(bào)告主要分析了黑色金屬行業(yè)的國內(nèi)外發(fā)展概況、行業(yè)的發(fā)展環(huán)境、市場分析（市場規(guī)模、市場結(jié)構(gòu)、市場特點(diǎn)等）、競爭分析（行業(yè)集中度、競爭格局、競爭組群、競爭因素等）、產(chǎn)品...
查看詳情
產(chǎn)業(yè)規(guī)劃 特色小鎮(zhèn) 產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃 產(chǎn)業(yè)地產(chǎn) 可研報(bào)告 商業(yè)計(jì)劃書 細(xì)分市場研究 IPO上市咨詢
貿(mào)易代理市場調(diào)研，貿(mào)易代理行業(yè)前景、貿(mào)易代理行業(yè)現(xiàn)狀如何?易代理不斷開拓新格局，實(shí)現(xiàn)歷史性跨越。1978年到2017年4...
大米(Rice)，是稻谷經(jīng)清理、礱谷、碾米、成品整理等工序后制成的成品。稻谷的胚與糊粉層中含有近64%的稻米營養(yǎng)和90...
清香型白酒亦稱汾香型，以山西汾酒、汾陽王酒等為代表，屬大曲酒類。它入口綿，落口甜，香氣清正。清香型白酒行業(yè)市場...
藥妝行業(yè)發(fā)展前景及投資潛力如何?隨著護(hù)膚品市場的開放，國外藥妝也隨之進(jìn)入國內(nèi)市場，中國藥妝行業(yè)如雨后春筍般萌發(fā)2...
清洗劑行業(yè)發(fā)展前景及投資潛力如何?清洗劑已經(jīng)成為人們?nèi)粘Ｉ畹谋匦杵?，清洗用品無疑已有巨大的市場，眾多品牌逐鹿2...
工信部暫停阿里云合作單位資格6個(gè)月近期，工信部網(wǎng)絡(luò)安全管理局通報(bào)稱，阿里云計(jì)算有限公司(下稱：阿里云)發(fā)現(xiàn)阿帕A...
中研普華集團(tuán)聯(lián)系方式廣告服務(wù)版權(quán)聲明誠聘英才企業(yè)客戶意見反饋報(bào)告索引網(wǎng)站地圖 Copyright ? 1998-2021 ChinaIRN.COM All Rights Reserved. 版權(quán)所有 中國行業(yè)研究網(wǎng)(簡稱“中研網(wǎng)”) 粵ICP備18008601號(hào)
2022電源管理芯片行業(yè)報(bào)告分析及市場份額 
研究院服務(wù)號(hào)
中研網(wǎng)訂閱號(hào)