一、濺射靶材行業(yè)簡介

濺射靶材是指一種用濺射沉積或薄膜沉積技術(shù)制造薄膜的材料。濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是制備濺射法沉積薄膜的原材料。濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等；亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域；還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。

二、濺射靶材的分類

濺射靶材種類多樣，下游應(yīng)用廣泛。從分類上來看，濺射靶材主要按形狀、化學(xué)成分、應(yīng)用領(lǐng)域這三個標(biāo)準分類。形狀分類中，主要分為長靶、方靶、圓靶。在化學(xué)成分分類中，主要分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材；在應(yīng)用領(lǐng)域分類中，主要分為半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材、工具改性靶材、電子器件靶材等。

三、濺射靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈上游主要以原材料和生產(chǎn)設(shè)備為主，其中原材料包括金屬、合金、陶瓷等原材料，金屬原材料包括銅、鋁、鉻、鎳、鉭等，合金原材料包括鎳鉻合金、鎳鈷合金、鎳鉑合金、鎢鈦合金、鐵鈷合金等，陶瓷原材料包括ITO、二氧化硅、氧化硅、氧化鋅、氧化鈦等。設(shè)備包括提純設(shè)備、噴涂設(shè)備和濺射機臺；濺射靶材中游主要為靶材生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)；濺射靶材下游應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、信息存儲、光學(xué)應(yīng)用等領(lǐng)域。

四、中國濺射靶材行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

濺射靶材是一種用于制造薄膜材料的重要材料，對電子與信息產(chǎn)業(yè)有著重要的作用。我國濺射靶材行業(yè)起步晚，長期依賴進口，在國家相關(guān)政策支持下，濺射靶材快速發(fā)展，國產(chǎn)化速度加快。在20世紀80年代初，我國開始引入濺射鍍膜技術(shù)，應(yīng)用于相關(guān)玻璃制品中。20世紀90年代，我國開始研究濺射靶材的國產(chǎn)化技術(shù)。在21世紀初，我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)進入快速發(fā)展階段，行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀企業(yè)增多。在2005年，第一塊國產(chǎn)半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用濺射靶材在江豐電子的生產(chǎn)線上誕生，填補了國內(nèi)濺射靶材工藝的空白。由于我國濺射靶材長期依賴進口，國家出臺相應(yīng)政策支持濺射靶材國產(chǎn)化。在2020年，我國工程院院士材料學(xué)專家何季麟帶領(lǐng)團隊成功研制出高性能ITO濺射靶材，實現(xiàn)了高端ITO靶材從0到1的突破。同年重慶大學(xué)劉慶教授團隊研制超高純金屬靶材項目，讓我國芯片擁有高端靶材。核心技術(shù)的突破加快我國濺射靶材行業(yè)發(fā)展，促進我國成為全球濺射靶材市場的重要力量。

隨著濺射靶材和下游產(chǎn)業(yè)應(yīng)用本土化程度的提高，中國在全球濺射靶材行業(yè)的地位日益突出，為國內(nèi)濺射靶材行業(yè)帶來了更加廣闊的市場發(fā)展空間。其中，高性能濺射靶材市場更是呈現(xiàn)出強勁的增長勢頭，市場規(guī)模不斷擴大，年均復(fù)合增長率顯著。數(shù)據(jù)顯示，2022年，我國濺射靶材行業(yè)市場規(guī)模為305.4億元。

圖表：2018-2022年中國濺射靶材行業(yè)市場規(guī)模

從市場份額來看，濺射靶材行業(yè)被幾家跨國大型企業(yè)所壟斷，如霍尼韋爾、東曹和普萊克斯等外國廠商。這些企業(yè)在技術(shù)、品牌和市場渠道等方面具有明顯優(yōu)勢，占據(jù)了行業(yè)的主導(dǎo)地位。然而，隨著國內(nèi)政策的引導(dǎo)和各大企業(yè)逐步加大研發(fā)投入，國產(chǎn)化率也在不斷提高，以江豐電子、阿石創(chuàng)等企業(yè)為首的國內(nèi)廠商快速發(fā)展，市場份額逐漸提升。

五、濺射靶材行業(yè)發(fā)展?jié)摿?/p>

隨著科技的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的持續(xù)拓展，濺射靶材的需求將持續(xù)增長，市場規(guī)模有望進一步擴大。其次，行業(yè)競爭將更加激烈，國內(nèi)外企業(yè)將加大研發(fā)投入，提升技術(shù)水平和產(chǎn)品品質(zhì)，以在市場中占據(jù)更有利地位。此外，隨著新能源、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑦M一步拓寬，為行業(yè)發(fā)展提供更多機遇。同時，政策支持和行業(yè)標(biāo)準的不斷完善也將為濺射靶材行業(yè)的健康發(fā)展提供有力保障。

《2023-2028年中國半導(dǎo)體靶材市場發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)查及供需格局分析預(yù)測報告》由中研普華產(chǎn)業(yè)研究院撰寫，本報告對該行業(yè)的供需狀況、發(fā)展現(xiàn)狀、行業(yè)發(fā)展變化等進行了分析，重點分析了行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀、如何面對行業(yè)的發(fā)展挑戰(zhàn)、行業(yè)的發(fā)展建議、行業(yè)競爭力，以及行業(yè)的投資分析和趨勢預(yù)測等等。報告還綜合了行業(yè)的整體發(fā)展動態(tài)，對行業(yè)在產(chǎn)品方面提供了參考建議和具體解決辦法。