電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。
一、電子特氣的概念
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特氣,而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,所以電子氣體又有半導(dǎo)體材料的“糧食”之稱。
電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展,對(duì)電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及投資預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示:
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè),下游在集成電路、面板、LED等領(lǐng)域的各個(gè)工藝環(huán)節(jié)均有多種用途。
電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。電子特種氣體的發(fā)展直接帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
2021年全球電子特氣市場(chǎng)規(guī)模達(dá)46億美元,預(yù)計(jì)未來行業(yè)將保持在5%左右的增速,市場(chǎng)規(guī)模在2024年達(dá)到54億美元。近年來全球電子特氣市場(chǎng)保持平穩(wěn)增長。
近幾年來,隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長,電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。目前我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局,高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束,高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場(chǎng)。
2021年,電子特氣在集成電路中的應(yīng)用占比達(dá)43%,其次為顯示面板,占比21%,LED和光伏分別占比13%,6%,主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊(duì)的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力,在細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢(shì),但和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距,國產(chǎn)替代空間巨大。
電子特種氣體的研究開發(fā)和生產(chǎn)的專業(yè)化,有利于技術(shù)的改進(jìn)和提高,有利于成本的降低,是提高電子元器件質(zhì)量的重要環(huán)節(jié)。實(shí)現(xiàn)真正意義上的規(guī)?;a(chǎn),增加國內(nèi)和國際市場(chǎng)份額,為國家進(jìn)行產(chǎn)業(yè)調(diào)整結(jié)構(gòu),建立完整的集成電路、光電子產(chǎn)業(yè)鏈,提高國際競(jìng)爭力,具有重大意義。
國內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口,自身的技術(shù)水準(zhǔn)(6N)與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項(xiàng)目將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對(duì)MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列,50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級(jí)提高到ppb、ppt級(jí),并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對(duì)氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產(chǎn)品缺陷, 提高制程的產(chǎn)量,滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù),解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題。
三、電子特氣行業(yè)未來趨勢(shì)預(yù)測(cè)
集成電路是電子特氣主要下游應(yīng)用,21年占比達(dá)43%。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是我國國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),政策加持下,打造“中國芯”、實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代的緊迫性、重要性不斷加強(qiáng)。中國電子特氣2021年市場(chǎng)規(guī)模為167億元,預(yù)計(jì)2024年我國電子特氣市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到230億元,2020-2024年復(fù)合增速將達(dá)11.28%,增速高于全球。
電子特氣得到國家政策大力支持?!笆奈濉逼陂g,中國工業(yè)氣體、集成電路產(chǎn)能分布密集的東部地區(qū)基于自身區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出相應(yīng)的電子特氣行業(yè)發(fā)展規(guī)劃,其中如廣東、遼寧等地基于優(yōu)勢(shì)城市、區(qū)域產(chǎn)業(yè)群加大技術(shù)投入,拓展包括電子特氣在內(nèi)的工業(yè)氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產(chǎn)能密集省份則基于區(qū)域相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向,有針對(duì)性地發(fā)展相應(yīng)電子特氣產(chǎn)業(yè),提升集成電路產(chǎn)業(yè)化程度??梢灶A(yù)見的是未來國產(chǎn)電子特氣市場(chǎng)未來將有較大增長空間。
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2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及投資預(yù)測(cè)報(bào)告
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導(dǎo)體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特氣,而且所...
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5電子特氣市場(chǎng)投資分析 電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈及市場(chǎng)規(guī)模預(yù)測(cè)
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